真空事業
Business operation 業務概要
長年培ってきた金属加工技術で低真空～高真空までの真空部品や機器の製作が可能です。また社内にクリーンルームと真空テスト機器を保有しており、製作から真空テストまで一貫してサービスを提供いたします。
Case example 製作事例
お客様のワークに応じた真空検査ユニット、排気ユニットを設計から組み立てまで一貫してご対応いたします。
真空関連機器
フレキシブルホース
| 材質 | SUS304、SUS316、SUS316L 他 |
|---|---|
| 規格 | Heリークテスト1.0X10-9Pa・m3/sec 以下 |
| 対応フランジ | NW、VG、VF、ICF、ISO、パイプエンド 他 |
| 特徴 | ブレード付製作 全長指定 内面テフロンコーティング 各フランジ多様なサイズ(NW125以上、パイプエンド3/4B以上など) |
成形ベローズ
| 材質 | SUS304、SUS316、SUS316L 他 |
|---|---|
| 規格 | Heリークテスト 1.0X10-9 Pa・m3/sec 以下 |
| 対応フランジ | NW、VG、VF、ICF、ISO、パイプエンド 他 |
| 特徴 | ベローズ板厚変更可能 内面テフロンコーティング 各フランジ多様なサイズ(NW125以上、パイプエンド1/2B以下5B以上) 豊富なベローズ材質(ハステロイ、インコネル、ニッケル、モネル、チタン等) |
配管治具
Owned equipment 保有機器
-
排気ユニットA
主に最終テストに使用
上段ポンプ: メカニカルブースタ ULVAC社製(PMB300D) 排気速度(L/min) 5,500L/min @100Pa 到達圧力(Pa) 0.4Pa 下段ポンプ: ロータリーポンプ ULVAC社製(VD-60C) 排気速度(L/min) 1,200L/min @60Hz 到達圧力(Pa) 0.67Pa -
排気ユニットB
テスト前フラッシング排気に使用
上段ポンプ: メカニカルブースタ ULVAC社製(PMB300CM) 排気速度(L/min) 5,500L/min @100Pa 到達圧力(Pa) 0.4Pa 下段ポンプ: ロータリーポンプ ULVAC社製(VD401) 排気速度(L/min) 800L/min @60Hz 到達圧力(Pa) 0.67Pa -
Heリークディテクタ
Pfeiffer Vacuum社製 ASM340 ポンプ 油回転 排気速度(L/min) 15m3/h 使用環境温度 0～45°C 最小検出可能リークレート(真空法) 5×10-13Pa・m3/s 可能な試験方法 真空法
スニファー法台数 1台 -
ピラニ真空計
N2洗浄時のN2量微調整機構も付属
排気と窒素での加圧を同時に行い、圧力の均衡を保つことも可能ULVAC社製 GP-1000G 測定圧力範囲 4.0×10-1～2.7X103Pa 使用環境温度 10～40°C 台数 1台
リーク試験方法の紹介
-
検査方法 ビルドアップ 規格 1.33Pa・L/sec以下（1.33Pa以下から600sec） 容積 約52L -
検査方法 Heリークテスト 規格 接合部漏れ無き事 容積 約19L -
検査方法 加圧試験 規格 0.6MPaを30min保持